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面阵相机

FTC2.0X-80/C-4K28

产品特点 典型应用
  • 高NA设计

    分辨率可达2.7um

    可选同轴,非同轴

  • 半导体芯片缺陷检查

    晶圆量测


产品参数

FTC2.0X-80/C-4K28

同轴

Ο

景深(um)

56

倍率(X)

2.0X

远心度(<degree)

0.04

工作距离(mm)

80

光学畸变(%)

0.04

分辨率(um)

2.7

相机传感器尺寸

4K7um

数值孔径(物侧)

0.125

接口

F

有效F/#

8

I/O(mm)

307


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