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面阵相机

FTC7.5X-10/CIA-16K82

高倍率远心线扫镜头,半导体缺陷检测,mini,micro led检查

产品特点 典型应用
  • 高倍率,高NA设计

    自带科勒照明系统

    可选同轴,非同轴


  • 半导体检测

    新材料缺陷量测


产品参数

FTC7.5X-10CIA-16K82

同轴

Ο

景深(um)

5.7

倍率(X)

7.5X

远心度(<degree)

0.03

工作距离(mm)

10

光学畸变(%)

0.04

分辨率(um)

1.5

相机传感器尺寸

16K5um

数值孔径(物侧)

0.23

接口

M95

有效F/#

16.3

I/O(mm)

553


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