内置科勒照明系统，均匀度高
可选同轴或非同轴
分辨率可达3um
LED芯片缺陷检测
晶圆量测
半导体检测
FTC3.5X-78/C-12K62 | |||
同轴 | Ο | 景深（um） | 25.9 |
倍率(X) | 3.5X | 远心度（<degree） | 0.04 |
工作距离（mm） | 78 | 光学畸变（%） | 0.04 |
分辨率（um） | 3 | 相机传感器尺寸 | 12K5.2um |
数值孔径（物侧） | 0.11 | 接口 | M72 |
有效F/# | 15.9 | I/O（mm） | 598 |
地址：潍坊市高新区高新大厦1319室
邮箱：kevin0727@fresnel-china.com
