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面阵相机

FTC3.5X-78/C-12K62

产品特点 典型应用
  • 内置科勒照明系统,均匀度高

    可选同轴或非同轴

    分辨率可达3um

  • LED芯片缺陷检测

    晶圆量测

    半导体检测

产品参数

FTC3.5X-78/C-12K62

同轴

Ο

景深(um)

25.9

倍率(X)

3.5X

远心度(<degree)

0.04

工作距离(mm)

78

光学畸变(%)

0.04

分辨率(um)

3

相机传感器尺寸

12K5.2um

数值孔径(物侧)

0.11

接口

M72

有效F/#

15.9

I/O(mm)

598


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