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面阵相机

FTC2.0X-93/C-16K82

产品特点 典型应用
  • 支持16K5u线扫相机

    可选同轴非同轴

    视野范围内均匀度高

  • 掩模版缺陷检查

    半导体瑕疵量测

产品参数

FTC2.0X-93/C-16K82

同轴

Ο

景深(um)

59

倍率(X)

2.0X

远心度(<degree)

0.05

工作距离(mm)

93

光学畸变(%)

0.05

分辨率(um)

4

相机传感器尺寸

81.92mm

数值孔径(物侧)

0.085

接口

M95

有效F/#

11.8

I/O(mm)

521


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