支持16K5u线扫相机
可选同轴非同轴
视野范围内均匀度高
掩模版缺陷检查
半导体瑕疵量测
FTC2.0X-93/C-16K82 | |||
同轴 | Ο | 景深（um） | 59 |
倍率(X) | 2.0X | 远心度（<degree） | 0.05 |
工作距离（mm） | 93 | 光学畸变（%） | 0.05 |
分辨率（um） | 4 | 相机传感器尺寸 | 81.92mm |
数值孔径（物侧） | 0.085 | 接口 | M95 |
有效F/# | 11.8 | I/O（mm） | 521 |
地址：潍坊市高新区高新大厦1319室
邮箱：kevin0727@fresnel-china.com
