导电粒子压痕检查解决方案

产品配套

微分干涉显微镜组，蓝光or绿光光源，vieorks 3K7CE120线扫描相机，激光位移传感器。

目前随着LCD屏幕，OLED屏幕应用愈加广泛，对导电粒子缺陷检查需求与日俱增。各大厂商急需成熟稳定的AOI设备，

1、如何获取导电粒子，清晰的立体感图像。

2、实时对焦功能的实现

3、对扫描速度的追求

（1）菲涅尔光学生产的微分干涉显微镜组，对直径在0.7um-10um大小的导电粒子拥有非常优秀的解析力与明暗对比效果。

10倍微分干涉显微镜组拍摄

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5倍微分干涉显微镜组拍摄

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（2）加外部激光位移传感器，实时对焦功能。

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（3）菲涅尔光学定制开发了高亮蓝光光源，可以满足高速扫描需求