发布者： 发布时间：1970-01-01 分享：
硬件：菲涅尔光电远心镜头或者远心线扫镜头，adimec相机，三色同轴点光源，定制版显微镜筒；
难点：1、色差控制，因需要多色光源，分别照射样品。如果色差控制不准，会出现虚焦现象。对机台的一致性有巨大威胁。
2、提升扫描速度，如何快速发现缺陷，并识别缺陷类型；
方案：通过大靶面远心面阵镜头或者线扫镜头，快速扫描晶圆，确定缺陷位置；再通过高倍显微系统识别缺陷类型，确定样品的OK或者NG
优势：1、菲涅尔光学提供高倍率大靶面的远心面阵或者远心线扫镜头，优秀的色差控制，可以简化检测流程，实现多光谱检测；2、提供高分辨率，同时有较大视野，实现晶圆快速扫描，发现缺陷位置。3、定制科勒照明显微镜筒搭配高倍显微物镜，轻易的识别缺陷类型。
菲涅尔光学镜头的色差控制均在12um以内，十分符合三色光源检查或者四色光源检查的条件。优秀的色差控制，使得机台不用二次对焦，降低机台开发难度，提高了检查效率。
地址：潍坊市高新区高新大厦1319室
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