SIC,GaN衬底缺陷检测

发布者： 发布时间：1970-01-01 分享：

常规检查项目；微管，掉落，坑，撞，粒子，刮伤

硬件：微分干涉显微镜组，线扫相机，消色差远心镜头，暗场光源

难点：外延片上多种类型缺陷，需要一一识别；不同缺陷有不同的表现，大部分缺陷类型可以通过微分干涉显微的方式识别，部分缺陷需要远心镜头＋暗场打光识别；

方案：菲涅尔光学提供多种倍率的微分干涉显微系统，目前有3.5倍，5倍，7倍，10倍，20倍等多种方案，满足绝大多数缺陷检测需求。最高分辨率可以达到0.5um，并且能够识别各种缺陷，有良好的表现形式；远心镜头＋暗场打光，对于刮伤类缺陷有非常好的识别效果；

优势：菲涅尔光学生产的微分干涉系统经过多方市场验证，明暗对比效果最优。对于外延，衬底都有非常明显的识别效果

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